Chambre à vide modulable / Versatile vacuum chamber

disponible avec assistance technique pour tester sous vide tous dispositifs électroniques, optiques ou mécaniques.

• Pompage :

pompe primaire sèche à spirale
pompe turbomoléculaire (230 l/s – 10-9 Torr)
vide limite dans l’enceinte : 10-6 Torr (10-4 Pa)
 

• Dimensions :

diamètre 800 mm x hauteur 1300 mm
volume maximum : 0,7 m3
 

• Passages étanches disponibles :

4 passages électriques SUB D9
2 passages fibres optiques multimodes
4 passages mécaniques de rotation motorisés
1 passage mécanique de translation manuel--
2 passages gaz (N2, Ar,…)
 

• Moyens de mesure:

1 spectromètre de masse quadripolaire (200 u – résolution : 1 u)
1 jauge type Pirani
1 jauge type Bayard-Alpert
 

• Autres particularités:

1 bride à ouverture rapide (Ø 160)
plusieurs hublots (Ø 40, 60 et 200)
enceinte installée sur socle antivibratoire dans une salle propre climatisée

D’autres équipements peuvent être adaptés et mis à disposition selon les besoins de l’étude considérée

available with technical assistance for testing electronical, optical or mechanical devices.

• Pumping

dry scroll pump
turbomolecular pump (230 l/s – 10-9 Torr)
ultimate pressure in the empty enclosure: 10-6 Torr
 

• Dimensions

diameter 800 mm x height 1300 mm
maximum available volume: 0.7 m3
 

• Feedthroughs available

4 electrical SUB D9 connectors
2 optical multimode fibers
4 motorized rotary feedthroughs
1 manual linear translation
2 gas inlets (N2, Ar,…)
 

• Main measurement means

1 quadrupole mass spectrometer (range: 200 u – resolution: 1 u)
1 Pirani gauge
1 Bayard-Alpert gauge
 

• Other characteristics

1 quick opening door (Ø 160 mm)
several viewports (Ø 40, 60 and 200 mm)
chamber installed on an antivibration base in an air-conditioned clean-room

Other equipment can be adapted and made available to suit user’s needs

Patrick PINOT
+33 (0)1 58 80 85 63
patrick.pinot@cnam.fr