Chambre à vide modulable / Versatile vacuum chamber

disponible avec assistance technique pour tester sous vide tous dispositifs électroniques, optiques ou mécaniques.

Descriptif de la configuration de base

  • Pompage :
pompe primaire sèche à spirale
pompe turbomoléculaire (230 l/s – 10-9 Torr)
vide limite dans l’enceinte : 10-6 Torr (10-4 Pa)

  • Dimensions :
diamètre 800 mm x hauteur 1300 mm
volume maximum : 0,7 m3

  • Passages étanches disponibles :
4 passages électriques SUB D9
2 passages fibres optiques multimodes
4 passages mécaniques de rotation motorisés
1 passage mécanique de translation manuel--
2 passages gaz (N2, Ar,…)

  • Moyens de mesure:
1 spectromètre de masse quadripolaire (200 u – résolution : 1 u)
1 jauge type Pirani
1 jauge type Bayard-Alpert

  • Autres particularités:
1 bride à ouverture rapide (Ø 160)
plusieurs hublots (Ø 40, 60 et 200)
enceinte installée sur socle antivibratoire dans une salle propre climatisée
D’autres équipements peuvent être adaptés et mis à disposition selon les besoins de l’étude considérée
available with technical assistance for testing electronical, optical or mechanical devices.

Presentation of the standard configuration

  • Pumping
dry scroll pump
turbomolecular pump (230 l/s – 10-9 Torr)
ultimate pressure in the empty enclosure: 10-6 Torr

  • Dimensions
diameter 800 mm x height 1300 mm
maximum available volume: 0.7 m3

  • Feedthroughs available
4 electrical SUB D9 connectors
2 optical multimode fibers
4 motorized rotary feedthroughs
1 manual linear translation
2 gas inlets (N2, Ar,…)

  • Main measurement means
1 quadrupole mass spectrometer (range: 200 u – resolution: 1 u)
1 Pirani gauge
1 Bayard-Alpert gauge

  • Other characteristics
1 quick opening door (Ø 160 mm)
several viewports (Ø 40, 60 and 200 mm)
chamber installed on an antivibration base in an air-conditioned clean-room

Other equipment can be adapted and made available to suit user’s needs

Contact

Patrick PINOT
+33 (0)1 58 80 85 63
patrick.pinot@cnam.fr